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裏面照射 (BSI, Back Side Illumination)
作成: 2023-07-01
更新: 2023-07-01
表面照射型:人間の眼
裏面照射型:鳥の眼
(
Semi jounal「裏面照射型CMOSイメージセンサーとは?原理と構造」
から引用)
メリット/デメリット
(
Semi jounal「裏面照射型CMOSイメージセンサーとは?原理と構造」
から引用)
表面照射型
裏面照射型
感度
×低
○高
ノイズ
○低
×高
コスト
○低
×高
裏面照射型がノイズが増える理由
(
Semi jounal「裏面照射型CMOSイメージセンサーとは?原理と構造」
から引用)
Si基板(単結晶)とSi酸化膜(非晶質)の界面は,ノイズ発生源。
裏面照射型では、この海面が2箇所に増えるため、ノイズが増加する。
参考Webサイト
Semi jounal「裏面照射型CMOSイメージセンサーとは?原理と構造」